Hermotech Co., Ltd. a exposé FOURCHE KUMADE (type EC) à SEMICON Japon 2022.
site Internet：https://harmotec.com/
Harmotech Co., Ltd.
Notre société est un fabricant spécialisé dans le transport spécial Uehara.
Cette fois, nous allons expliquer le type EC.
Notre société est un fabricant spécialisé dans le transport spécial Uehara.
Cette fois, nous allons expliquer le type EC.
En fait, il s’agira d’une exposition de type CE.
Le type EC est nouvellement développé par notre société pour le transport des tranches les plus hautes de 300 mm. Lorsque
il s’agit de galettes de gros diamètre de 300 mm, il est difficile de les transférer sans contact à cause de la grande déflexion due à leur propre
poids
. , de sorte que l’air expiré et la zone expirée par le flux tourbillonnant arrivent du côté racine, et
à l’inverse, l’air expiré par la racine est amené à venir du côté de la pointe, et la répulsion d’air se crée dans cette partie centrale. Cela a généré une force pour combattre.
Ce faisant, vous pouvez pousser vers le haut la plaquette TAIKO qui est pliée par son propre poids.
De plus, la face avant, la face arrière, la face arrière d’aujourd’hui et l’inversion de TAIKO sont disponibles.
En plus des wafers minces TAIKO, nous pouvons également traiter des wafers équitables, des wafers collés et des wafers épais.
